Komponenty pro EUV a DUV litografii, skenery, depoziční systémy, leptací stroje.
Komponenty pro vakuové technologie (UHV, XHV a UCV)
Komponenty pro výkonné lasery (Highpower, Ultra Short Wavelength)
Součásti pro vysoce výkonné měřicí a analytické systémy, např. plynové chromatografy, elektronové skenovací mikroskopy, hmotnostní spektrometry, gyroskopy.